简答题 简述ELA技术制备LTPS TFT的缺点，针对ELA技术的问题有哪些解决方案？

【参考答案】

ELA技术的缺点是：
1）激光器昂贵、光学和机械系统复杂，制作成本高；
2）由于激光尺寸的限制，非晶硅薄膜按区域顺序晶化，不可避免地在两个晶化区域之间有一个晶化程度不同的接缝，载流子迁移率不同，TFT特性不匀均；
3）不均匀性随着驱动基板尺寸的增大而放大，制作大尺寸面板......

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