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单项选择题

A.液态B.气态C.固态D.固液态化学气相沉积法是利用()或蒸汽态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的……

化学气相沉积法是利用()或蒸汽态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的过程。

A.液态
B.气态
C.固态
D.固液态