填空题抛光片的质量检测项目包括：几何参数，直径、（）、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等；（），电阻率，载流子浓度，迁移率等；晶体质量，晶向，位错密度。
填空题半导体材料的主要晶体结构有（）型、闪锌矿型、（）型。
填空题半导体材料可根据其性能、晶体结构、结晶程度、化学组成分类。比较通用的则是根据其化学组成可分为元素（）、（）半导体、固溶半导体三大类。
填空题半导体材料有两种载流子参加导电，具有两种导电类型。一种是（），另一种是（）。
填空题全定制、半定制版图设计中用到的单元库包含（）、（）、（）和（）。
