抛光是以磨粒的微小塑性切削生成切削为主体而进行的。在材料切除过程中会由于局部高温、高压而使工件与磨粒、加工液及抛光盘之间存在着直接的化学作用,并在工件表面产生反应生成物。由于这些作用的重迭,以及抛光液、磨粒及抛光盘的力学作用,使工件表面的生成物不断被除去而使表面平滑化。
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