简答题 简述电子束加工特点与应用

【参考答案】

1、聚焦直径小，焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用，不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广，对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高，因而加工生产率很高。例如，每秒钟可以在2......

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