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问答题

简答题 扫描电镜的分辨率受哪些因素的影响?用不同物理信号成像时,其分辨率有何不同?所谓扫描电镜的分辨率是指何种信号成像的分辨率?

【参考答案】

影响因素:电子束束斑大小,检测信号类型,检测部位原子序数。
SE和HE信号的分辨率最高,BE其次,X射线的最低。
扫描电镜的分辨率是指用SE和HE信号成像时的分辨率。