①:等离子体中离子动能 ②:入射离子的入射角度
问答题简述溅射的四要素。
问答题简述溅射的基本内容。
问答题薄膜的主要分析方法有哪些?基本原理是什么?
问答题简述薄膜的主要缺陷类型及特点。
问答题蒸发薄膜微观结构随温度变化如何改变?