简答题 怎样安装调试直拉单晶炉？

【参考答案】

清洗炉膛，装入热系统，关紧炉门，启动真空系统，检查单晶炉密封情况，同时打开水冷系统，检查各冷却部位是否水流通畅。开启所有运转部分，检查籽晶轴和坩埚轴的旋转和上下移动是否正常平稳，最后，送加热电流，检查功率控制部分是否灵敏稳定。完全正常后，可以进行投多晶硅原料试拉单晶。试拉过程单晶炉各部运转正常，调试......

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