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名词解释

物理气相沉积

【参考答案】

以物理机制来进行薄膜沉积而不涉及化学反应的沉积技术,所谓物理机制是物质的相变化现象,如蒸镀,蒸镀源有固态转化为气态溅镀,蒸镀源则由气态转化为电浆态。