找考题网-背景图
问答题

简答题 简述蒸镀与溅射的区别

【参考答案】

蒸镀:让材料加热气化(发射出粒子),再沉积到基片上成膜。
溅射:用离子轰击,将靶材原子打出来,再沉积到基片上成膜。