问答题
简答题 描述电子回旋共振(ECR)。
【参考答案】
ECR反应器在1~10毫托的工作压力下产生很密的等离子体。它在磁场环境中采用2.45GHZ微波激励源来产生高密度等离子体。ECR反应器的一个关键点是磁场平行于反应剂的流动方向,这使自由电子由于磁力的作用做螺旋运动。当电子的回旋频率等于所加的微波电场频率时,能有效地把电能转移到等离子体中的电子上。这种......
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